Huace-4簡易探針臺的產(chǎn)品特點(diǎn)及應(yīng)用

更新時間：2023-09-12 點(diǎn)擊次數(shù)：1062

Huace-4簡易探針臺

產(chǎn)品簡介：

探針臺是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu)，測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺（chuck）上，在顯微鏡配合下，X-Y移動器件，找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針（射頻或直流探針），精準(zhǔn)扎到被測點(diǎn)，從而使其訊號線與外部測試機(jī)導(dǎo)通，通過測試機(jī)測試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。

產(chǎn)品特點(diǎn)及應(yīng)用：

◆ 滿足I-V/C-V，PIV測試，光電測試等；

◆ 可用于6英寸以內(nèi)樣品測試；

◆ 同軸絲杠傳動結(jié)構(gòu)，線性移動；

◆ 可放置于手套箱內(nèi)使用；

◆ 形狀輕巧，操作方便，價格實(shí)惠。

技術(shù)參數(shù)：

臺體規(guī)格
尺寸	4英寸/6英寸
水平旋轉(zhuǎn)	可360°旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15°，精度0.1°，帶角度鎖死裝置
X-Y移動行程	2英寸×3英寸
X-Y移動精度	10μm
樣品臺Z軸調(diào)節(jié)	可升降10mm
樣品固定	真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)
針座平臺	左右各一個針座平臺，**可放置6個探針座
背電極測試	樣品臺電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極
外形尺寸	400mm長380mm寬500mm高
設(shè)備重量	約20KG

光學(xué)系統(tǒng)
顯微鏡類型	單筒顯微鏡/體式顯微鏡
放大倍率	16X-200X
移動行程	水平方向繞立柱360°旋轉(zhuǎn)，Z軸50.8毫米
光源	外置LED無極調(diào)節(jié)亮度環(huán)形光源
CCD	200萬像素/500萬像素/1200萬像素

定位器
X-Y-Z移動行程	12mm12mm12mm
移動精度	10μm/2μm/0.7μm/0.5μm
吸附方式	磁力吸附，真空吸附
線纜	同軸線/三軸線
漏電精度	10pA/100fA/10fA
固定探針	彈簧固定/管狀固定
接頭類型	BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子
針尖直徑	0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm
針尖材質(zhì)	鎢鋼；鈹銅

可選附件：

加熱臺；
顯示器；
轉(zhuǎn)接頭；
射頻測試配件；

屏蔽箱；

光學(xué)平臺；
鍍金卡盤；
光電測試配件；

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